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电子化工厂净化工程设计要求

所属行业 环保设备

更新时间 2021-08-20

河南省 郑州市

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  • 认   证未认证
  • 行   业能源化工
  • 联系人王总
  • 地   址 河南省 · 郑州市 河南郑州丰庆路博颂路..
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电子化工厂净化工程设计:

电子化工厂净化工程设计要求:基于微电子和光电子加工工艺的精密化,微细化和规模化,就决定了它对生产环境的的要求就越来越高,以下是河南信宏环保净化技术有限公司为大家介绍。

   电子化工厂成电路前工序光刻间的洁净度要求高达1级(0.1µm)也就是每立方英尺空气中≥0.1 µm的粒子数不能超过1颗。相当于ISO 1级。特别重要的是它对环境空气提出了去除分子污染(SO2 , Nox , VOC ,NH3等)的要求。
   电子化工厂生产工艺对环境空气温、湿度的控制精度要求越来越精。还以上述微电子的光刻间为例:其温度精度为±0.1℃,相对湿度的精度为±3%。
    大规模集成电路前工序对生产用的高纯水、高纯气体以及高纯溶剂的纯度要求越来越纯。例如:对高纯水而言,不仅对其电阻率有要求,而且对高纯水中所含粒子、细菌、重金属以及其他元素的离子成份都有严格的要求,随着生产工艺的发展,对其纯度的要求也越来越高。可谓纯之又纯。

    电子工业生产不仅对环境的洁净度,温、湿度有严格的要求,同时对环境的声(噪声)、光(照度)、电(静电)、磁(电磁场屏蔽)、振(微振)等都有严格的要求。尤其微电子生产,对环境的分子级污染提出了新的严格的要求。分子污染是指环境空气中要严格控制例如钠(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等对半导体工艺有害的元素。因此在处理空气时还要用淋水(淋自来水、淋纯净水)来吸收室外空气中的有害分子成份和用化学过滤器来吸附新风中的有害分子成份。以上的讲解希望可以帮到您,河南信宏环保净化专业承接无尘室净化工程企业。


河南信宏环保科技有限公司,是一家专业从事10级-30万级工业和生物洁净室空气净化工程设计、施工、检测、改造、维护及其相关设备设计、研发、生产和销售为一体的专业净化科技公司。其前身为中航院洁净技术研究所华中净化事业部,始创于1999年。
       公司拥有一支专业从事洁净室净化工程设计、施工、检测、改造、维护及净化产品引发的高素质科研技术人员,专业承接GMP药厂、食品饮料厂、保健品厂、化妆品厂、电子化工厂、洁净手术室、ICU病房、DNA实验室、生物安全实验室、化验室等洁净室净化工程,以及建筑装饰装修工程、通风和工艺管道制作安装工程、机电设备安装工程、建筑智能化工程和自动化控制工程。

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